EDIT30 招待講演
Ⅰ チュートリアル講演
- 生田目 俊秀 (物質・材料研究機構)
「まだまだ奥深いALD（原子層堆積）技術」
Ⅱ 基調講演
- 白田 理一郎 (国立清華大学)
「NANDフラッシュメモリの開発経緯及び次世代メモリに期待すること」 - 波多野 睦子 (東京科学大学) : オンライン講演
「ダイヤモンド量子センサの可能性」
Ⅲ 招待講演
- 奥山 亮輔 (SUMCO)
「CMOSイメージセンサの特性向上に寄与する新たな機能性シリコンウェーハの研究」 - 株柳 翔一 (キオクシア) → 浜井 貴将 (キオクシア)
「高速メモリ応用を見据えたChannel-All-Around型強誘電体トランジスタの動作実証」 - 久野 拓馬 (日立製作所)
「ノイズ耐性を向上するConcatenated Continuous Drivingを用いたシリコン量子ビット操作技術」 - 白石 賢二 (名古屋大学)
「第一原理量子論で見るシリコンテクノロジー」 - 野秋 淳一 (日本サムスン)
「シリコン酸化膜のためのReaxFF開発と原子レベルプロセス評価」 - 宮迫 毅明 (村田製作所)
「CSD法を用いた機能性酸化物薄膜及びデバイス応用に関する検討」
Ⅳ 企画セッション
「最先端半導体デバイスの開発動向」
- 平本 俊郎（東京大学）
「先端ロジックデバイスの開発動向：2nmからBeyond 2nmへ」 - 若林 整（東京科学大学）
「2D FETの研究状況や応用へ向けた課題」 - 山下 侑佑（豊田中央研究所）
「車載パワーデバイスの技術動向とその課題」 - 大内 和也（キオクシア）
「最新3Dフラッシュメモリ技術動向と将来展望」