EDIT30 招待講演
Ⅰ チュートリアル講演
- 生田目 俊秀 (物質・材料研究機構)
「まだまだ奥深いALD（原子層堆積）技術」
Ⅱ 基調講演
- TBA
- TBA
Ⅲ 招待講演
- 株柳 翔一 (キオクシア)
「高速メモリ応用を見据えたChannel-All-Around型強誘電体トランジスタの動作実証」（仮） - 久野 拓馬 (日立製作所)
「大規模集積シリコン量子コンピュータに向けたConcatenated Continuous Drivingによるスピン量子ビットの寿命延長技術」（仮） - 白石 賢二 (名古屋大学)
「第一原理量子論で見るシリコンテクノロジー」（仮） - 野秋 淳一 (日本サムスン)
「シリコン酸化膜のためのReaxFF開発と原子レベルプロセス評価」 - 宮迫 毅明 (村田製作所)
「CSD法を用いた酸化物薄膜材料及びデバイス応用に関する検討」（仮） - TBA
Ⅳ 企画セッション
（準備中）