電子デバイス界面テクノロジー研究会

電子デバイスの性能向上・集積化・機能発現に向けて，その鍵を握る界面の基礎から応用までの幅広いテーマについて，実験と理論の両面から深く議論する研究会です。

応用物理学会 薄膜・表面物理分科会およびシリコンテクノロジー分科会共催の特別研究会として，1996年から2004年までは「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性研究会」，2005年から2015年までは「ゲートスタック研究会 ―材料・プロセス・評価の物理―」との名称で開催され，2016年から現在の「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・評価の物理―」となりました。

CALL FOR PAPERS (pdf) ダウンロード

*予稿集への広告掲載を募集します。詳細はこちらをご覧下さい。

【参加者限定】予稿集・講演会場

1月22日0時以降に、予稿集のダウンロードおよび講演会場へのアクセスが可能となります。

参加登録時にメールでお送りした、参加登録番号とパスワードでログインしてください。
メール未着の場合は、secretary@edit-ws.jpまでお問い合わせください。

★重要★
ポスターセッションで使用するブレイクアウトルーム機能はバージョン5.3.0以降のZOOMアプリが必要です。（ブラウザからの参加は不可）
最新版ZOOMアプリはこちらからダウンロードください。

オンライン開催マニュアル（PDF）

研究会当日の参加方法・講演方法などをまとめたマニュアルです。
参加登録された方、講演者の方はご一読ください。

参加者

口頭発表者

ポスター発表者

座長

更新情報

• オンライン企業展示会を公開しました．（2021.1.21）
• 【参加者限定】予稿集・講演会場へのリンクを公開しました．（2021.1.18）
• EDIT26オンライン開催マニュアルを公開しました．（2021.1.15）
• プログラムを公開しました．（2020.12.22）
• 参加申込を開始しました．（2020.11.25）
• 一般講演投稿締め切りを11/2に延長しました．（2020.10.23）
• 一般講演申込みを開始しました．（2020.10.1）

協賛

日本物理学会，日本化学会，日本金属学会，日本表面科学会，電子情報通信学会，電気学会，触媒学会，日本真空協会，電気化学会，表面技術協会，日本顕微鏡学会，日本セラミックス協会，精密工学会

開催助成

公益財団法人 村田学術振興財団